Параметр | Ед. изм. | Al₂O₃ 96,0% | Al₂O₃ 99,6% | Si₃N₄ | AlN-170 | AlN-200 | AlN-230 | BeO 99% |
Цвет | — | Белый | Белый | Серый | Серый | Серый | Серый | Серый |
Объемная плотность | г/см³ | 3,76 | 3,75 | 3,21 | 3,30 | 3,28 | 3,25 | 2,85 |
Удельная теплоемкость | Дж/(кгК) | 750 | 750 | 710 | 720 | 720 | 720 | — |
Теплопроводность (25°C) | Вт/(м·К) | ≥ 24 | ≥ 30 | ≥19 | ≥ 170 | ≥ 200 | ≥ 230 | ≥ 230 |
Коэффициент теплового расширения (КТР) | 10⁻⁶ /°C | 6,5–8,0 | 6,2–8,2 | 3,1 | 2,0–3,5 | — | 4,6–5,2 | 7,0–8,5 |
Прочность на изгиб | МПа | ≥ 350 | ≥ 500 | ≥900 | ≥ 380 | ≥ 380 | ≥ 350 | ≥ 180 |
Модуль упругости | ГПа | 330 | 330 | 315 | 320 | 320 | 320 | 345 |
Твердость по Виккерсу | ГПа | 14 | 16 | 15 | 11 | 11 | 11 | — |
Диэлектрическая постоянная (1МГц) | — | 9–10 | 10 | 8.8 | 8–10 | 8–10 | 8,5 | 6,5–7,3 |
Диэлектрические потери (1МГц) | × 10⁻⁴ | 2 | 2 | 18 | 2 | 2 | 3 | ≤ 4 |
Объемное сопротивление (25°C) | Ом·см | ≥ 10¹⁴ | ≥ 10¹⁴ | ≥ 10¹⁴ | ≥ 10¹³ | ≥ 10¹³ | ≥ 10¹³ | ≥ 10¹⁴ |
Диэлектрическая прочность (DC) | кВ/мм | ≥ 17 | ≥ 15 | ≥19 | ≥ 17 | ≥ 17 | ≥ 15 | ≥ 18 |
Шероховатость шлифованной поверхности (Ra) | мкм | 0,2–0,7 | 0,3–0,5 | 0.4-0.6 | 0,3–0,5 | 0,3–0,5 | 0,3–0,5 | 0,5 |
Шероховатость полированной поверхности (Ra) | мкм | — | < 0,05 | — | < 0,05 | < 0,05 | < 0,05 | < 0,01 |